晶圓精密微針測試機(jī)

●設(shè)備用于6-12寸晶圓測試平臺

●硬件組成：PC+運(yùn)動板卡控制；軟件:視覺定位系統(tǒng)、運(yùn)動控制系統(tǒng)、測量系統(tǒng)、產(chǎn)品供電系統(tǒng)構(gòu)成。

●通過雙相機(jī)識別MARK點(diǎn)微調(diào)對位。

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